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注:对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样!当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的,洁净室空气洁净度等级的检验,应以动态条件下测试的尘粒数为依据!洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策,做到技术、经济合理、安全适用、确保质量,符合节约能源和环境保护的要求。本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计,但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定,不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计.
在利用原有建筑进行洁净技术改造时,洁净厂房设计必须根据生产工艺要求,因地制宜、区别对待,充分利用已有的技术设施。洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件!洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的标准、规范的有关要求.洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策,做到技术、经济合理、安全适用、确保质量,符合节约能源和环境保护的要求.本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计,但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室!
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本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定,不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计.在利用原有建筑进行洁净技术改造时,洁净厂房设计必须根据生产工艺要求,因地制宜、区别对待,充分利用已有的技术设施.洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件.洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的标准、规范的有关要求!行业分布电子厂房食品加工药品加工计算机中心精密仪器航天检验检疫净化工程是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造!
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直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0!24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多!相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故!相对湿度在50%时易生锈!此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除!
在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流.以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风!气流有如一个空气活塞,向下流经室内,带走污染物,然后从地面排出。
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