必要的压差是控制漏气方向的手段!微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄露！病毒实验室或传染病房不允许室内空气向室外泄露.噪声过大的噪声不仅会影响正常的工作，而且会影响人员的身体健康，降低噪声是洁净度的一项基本要求!照度适当的照度是正常工作的必要条件!特殊参数振动振动会影响仪器设备的稳定性，从而影响仪器的准确度，还会影响设备的加工度，所以有些洁净室需要控制振动。静电静电有许多危害，特别容易损坏微电子元件，所以微电子行业采取相应的防护措施，预防静电的产生或者使产生的静电能够及时泄漏，以减少静电对电子行业所造成的损失。

　　集中式净化空调系统的送风方式可有以下几种形式：单风机系统a！为防止污染空气渗入净化空调系统而再次污染中效过滤器后的空气，中效过滤韶一般应设置在系统的正压段.b!为防止过滤器后的空气再次被污染，过滤器应尽量布置在系统末端即尽量靠近洁净室的送风口。一般情况下不宜采用在空调机房内或离洁净室送风口较远的送风管道上集中布置过滤器的做法！c。当回风含尘浓度较高或有大粒径灰尘、纤维等情况下，可在回风口或回风管道上设置中效过滤器.

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　　层流罩广泛应用于电子、医药、食品、化工、科技、生物工程等领域，是一种可提供局部洁净环境的空气净化单元!产品是将空气以一定的风速通过高效过滤器后，形成均流层，使洁净空气呈垂直单向流，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度！洁净层流罩技术参数如下：洁净室的基本参数及特殊参数：基本参数洁净度洁净度是洁净室的重要基本的技术指标！其单位是：单位体积的空气中粒径不小于某一尺度的微粒个数。尤其是微电子行业对于洁净室的要求较高。

　　有害气体浓度有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品合格率，所以洁净度需要控制有害气体浓度!辐射强度X射线、Y射线、电磁波等辐射对人体有较大的的损害，有时对生产设备或产品也有损害!层流罩清洁方法：查看层流罩面能否洁净，如有灰尘就应该先除去灰尘！使用层流罩前使用消毒剂擦洗层流罩正外表和四周!将风机电压调节旋纽调至ldquo;零rdquo;位置，查看各保险丝能否完好！按通电源总开关，渐渐旋转调节旋纽，升高电压，层流罩开始送风后使用风速丈量笔直层流风速!

　　3L，对于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0!1L!对于100级净化车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试!如果不具备，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。在对净化车间进行洁净度检测时，尽管规定了空气的zui小采样量，但在实际工作中，应在保证zui小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器!检测点的布置根据中华人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪00m的水平面内；对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0!