当灭弧室真空度正常时，仅需几百伏的电压就可以维持带电触头与中间屏蔽罩之间由场致发射引起的电子电流，屏蔽罩积累的电荷使得屏蔽罩上的电位较高，高可接近电源电压的峰值，且比较稳定；真空断路器的金属导杆和触头与屏蔽罩之间相当于一个电容器，真空断路器的屏蔽罩对地也相当于一个电容器！当真空度降低时，灭弧室内的气体密度变大，内部气体压力的升高将导致气体分子、金属粒子、各种粒子增多，从而引起绝缘特性下降，预击穿电压降低，发生预击穿的几率增多，产生预放电，导致屏蔽罩电位下降，并使真空断路器周边电场强度发生变化！

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　　但是，在线监控系统必须使用安装真空传感器的特殊真空灭弧室，因此必须是掌握该技术的真空灭弧室制造商才能实现该功能!而且成本高，实际使用少，对于已经使用了真空开关的用户来说，更不可能实现!局部放电法、耦合电容法和光电转换法局部放电法是通过接收高频脉冲传感器来判断高频脉冲的变化.因此，高频脉冲屏蔽系统尺寸的变化不同，传感应屏蔽系统不同。因此，由于安装位置、灭弧章尺寸和系统电压的影响大，难以应用于工程应用.

　　特别是对于安装在整机上的真空灭弧室，由于其周围的绝缘支架也有泄漏，这些泄漏的总和具有更大的不稳定性和不可预测性，以及值10-4Pa数量级真空灭弧室的电离电流相当!我们采用两次启动高压的方法，扣除漏电电流，了安装在整机上或待安装的真空灭弧室的真空测量精度.◆由于几何尺寸和材料的不同，内置多个真空灭弧室的测量曲线真空灭弧室的放电电荷不同，当内部真空度和外部激励电源一定时，有相当大的差异!为了准确测量，每个真空灭弧室必须有相应的计算曲线，从电离电荷到真空度。

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　　在内部气体压力开始变化时这种变化不是很明显，但到一定值时电场变化变得十分明显，然后又趋于缓和，其变化曲线类似于低通滤波器.因此利用这一曲线，通过外加特定的微波信号穿透VCB，收集反馈信号的变化，可以较好地判断内部气体压力的变化趋势。当内部气体压力进一步升高时，金属导杆和触头主要通过导电气体对屏蔽罩充放电，由于屏蔽罩对地的电容很小，少量的电荷堆积即可大幅度减小触头附近的电场强度.因此难以形成稳定的导电性通道。

　　耦合电容法是根据局部放电原理提出的-在线监控技术。虽然这种方法可以实现灭弧室真空度的在线监控，但只能给出定性指示，测试灵敏度有限，也不能满足灭弧室真空度的测量范围！对于设备管理单位，在建立真空度在线监控系统并积累一定数据后，可以进行垂直和水平分析，以快速有效地发现异常真空断路器在运行过程中真空度会逐渐下降，真空泄漏到一定程度，开关柜会爆炸，严重影响整个高压柜室的连续燃烧！虽然国家实行了定期维护制度，但由于现场真空度无法检测，只能通过破坏性高压试验进行验证.