真空清洗干燥机一般是将蒸汽清洗与真空干燥在一个槽中进行，在对工作进行蒸汽清洗的同时使工件温度升高，然后使干燥槽迅速进入更高的真空状态，工件表面的清洗液会突然沸腾(真空突沸效应)而迅速挥发干净!这样可以将工件的干燥时间降低到数分钟以内。真空蒸馏，使碳氢清洗剂再生重复使用!清洗剂的蒸馏再生，就是利用清洗剂与污垢之间的沸点差，将溶有油污的清洗剂加热到清洗剂不沸点以上而控制在油污的沸点以下，便清洗剂气化，然后通过冷凝装置使之重新凝结成纯净的清洗剂，而沸点较高的油污和机械杂质则留在蒸馏罐的底部.

　　由于碳氢清洗剂的沸点高于闪点，在常压状态下不可能对工件进行蒸汽清洗.真空清洗干燥机利用液体在真空状态下沸点降低的原理，通过对密封的清洗槽抽真空，使碳氢溶剂的沸点大大降低，只需将碳氢清洗剂加热到80℃左右，就可使其沸腾，实现蒸气清洗!利用真空突沸效应，提升干燥速度.由于碳氢清洗剂的沸点都在140℃以上，在常温常压下挥发一般需要一小时左右.这样的干燥速度肯定不能满足工艺清洗的节拍要求!而用加热烘干的方法又容易产生火险，这也是碳氢清洗剂在中国未得到广泛应用的主要原因之一。

　　日本生产真空清洗干燥机的厂家看好中国巨大的市场潜力，投入巨大力量开发中国市场，在中国通过分支构和代理商社迅速扩展业务。国内一些原来生产普通超声波清洗机的企业也积极跟进.碳氢清洗机的分类碳氢清洗机按照设计的不同，可分为标准机和非标机。按照清洗槽的数量分为单槽机、双槽机、多槽机等;按自动化的程度亦可分为手动、半自动以及全自动型;按碳氢清洗机各部分的功能分，有清洗系统、蒸馏再生系统、控制系统、辅助系统等!

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　　但在常压状态下，清洗剂中溶解的空气粒子遇到超声波时产生气泡，超声波的空穴作用会被大幅度衰减，清洗效果被减弱.在真空状态下，清洗剂中的气体会被脱出，从而避免了超声波的衰减！这一效果可以从铝箔实验中得验证:在清洗槽中分别加入未经真空脱气和经过真空脱气的碳氢清洗剂，使用相同功率的超声波对铝箔清洗一分钟，结果未经脱气的清洗剂可见轻微的震动，铝箔基本上无变化.而经过真空脱气的清洗剂剧烈震动，铝箔很快出现许多孔洞!

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　　隔绝氧气，使碳氢清洗剂失去燃烧的条件。绝大多数碳氢清洗剂闪点都在50℃左右，在我国《常用危险化学品的分类及标志》(GB13690-92)中属于高闪点易燃液体.虽然闪点较高，但在高温或有助燃物(如纸和棉絮)的情况下仍有燃烧危险。因此控制火险成为其推广使用必须解决的问题.燃烧需要有可燃物、温度和氧气三个必要条件，只要缺少一项，燃烧就不可能发生！在真空状态下氧气含量极低，在清洗、干燥和蒸馏再生的过程中，即使碳氢清洗剂的温度达到闪点以上，由于没有氧气，失去了燃烧的一个必要条件，碳氢清洗剂也不会燃烧，从而保证了使安用全!