1/0。2/0!3;重复精度(全行程)nm:0。2/0!4/0!6;本底噪声nm:0。01/0。02/0.03;传感器:硅传感器闭环反馈;型号:LT-Z;行程(μm):100/200/300/500;分辨率(nm):0!1/0!2/0!3/0!5;重复精度(全行程)nm:0!2/0!4/0.6/0;本底噪声nm:0。01/0!02/0。03/0。05;传感器:硅传感器闭环反馈;物镜扫描台一维快反镜两轴压电平台两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转,主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜XY压电平台二维快反镜三轴压电平台压电亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)高精度亚纳米压电平移台法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动,采用柔性铰链连接,选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR传感器,具有更高的稳定性和闭环精度!
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压电马达位移平台可提供粘滑式和超声波压电马达平台,该平台可提供纳米级分辨率和zui高行程达5米。可用于真空、非磁、低温等环境!电动位移平台由步进电机或直线电机驱动的平台,可提供亚微米分辨率及5米大行程。可提供线性平台、升降台、转台等此外还提供气浮转台/线性平移台、微型平移台、六维平台等特殊平台!压电亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程):科研级高精度超低噪压电亚纳米平移台!高负载电动线性/二维位移台-高精度纳米级:高负载电动线性/二维位移台-高精度纳米级!
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