皮米精度位移激光干涉仪（可试用）昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其du特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中!quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（参考腔）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的jue对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到5M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差!

　　传统的干涉测距法都是待测目标移动产生的和参考光路不同的光程差，产生干涉现象.而除了光路长度的改变，在恒定路径下激光波长的改变也会导致信号的干涉调制！通过激光器控制扫描波长，控制引入多个波长变化，这样避免了静态状态下的相对误差！这种方法称为“干涉光谱学”.“干涉光谱法”与饱和吸收室(GC)结合使用可以实现jue对距离的测量.昊量光电新推出的皮米精度位移干涉仪quDIS通过将可调激光器的频率锁定到F-P干涉仪的的谐振频率上，将干涉仪的位移测量转换为频率变化的测量。

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　　工作距离大至5m（与传感头相关）目标速度＜3m/s三个传感接口，可实现多设备同步探测器分辨率达到1pm应用领域：极限环境下振动分析缓慢漂移及热膨胀检测精密设备位置控制纳米级位移测量层状结构中间隙和边缘的测量位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性0。05nm波长1535nm相对对距离精度0！2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离20-5000mm光纤输入端口FCNarrow-Key-Slot目标速度3m/sMatingSleeves传感头真空低温同步多台设备同步大量程、高精度的jue对距离测量方法主要分为两类：一类是相干测量，另一类是非相干测量.

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　　当F-P腔长在变化时，其谐振峰的频率也在发生变化，通过测量初始腔长，初始频率和频率变化，就可实现测量腔长!可调激光器的频率变化可通过与一个稳频激光器进行拍频来测量.因这种方式将位移变化转换为了频率变化，只要保证频率变化为线性变化，就可以避免干涉仪的非线性误差对测量结果的影响.同时其理论分辨率低可达到1pm。昊量光电新推出的皮米精度位移干涉仪quDISjue对距离测量方式就是基于上文中提到的“拍频”的方式，通过将内部参考腔锁频，使其频率和腔长保持恒定，这样，通过测量频率变化，就可以知道实时的腔长，也就是jue对距离。

　　用于测量高温漂移物体的传感器头的设计镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头环境测试模块（AMU）环境测试模块（AMU）设计用于补偿由温度T、压力p和相对湿度rH波动引起的折射率变化，总体精度为1ppm。频率扫描jue对测距法：频率扫描jue对干涉测距技术是一种无需靶标或标记点、能够快速测量漫反射体表面信息并且测量精度很高的测距方式，因此得到了人们的广泛关注.德国qutools公司新推出的皮米级别位移干涉测量仪quDIS便是基于上述频率扫描原理的干涉仪。 其实，许多国家也同样没有什么像样的半导体工业，比如英国和法国的半导体产业从产值上比我们也强不了多少，可是我们如果参考2008年中国实际半导体需求超过550亿美元，占全世界半导体总市场的20%左右，面对这么大的贸易逆差我们很有必要对我们脆弱的半导体产业一声叹息。如果说，我们的半导体制造能力的发展在政府和某些企业的大力投入下还算差强人意的话，那么解决半导体产业孱弱问题的关键就落到IC设计的繁荣上。由于政府介入IC设计行业前端的可能性和成功性相对比较小，因此解决中国IC设计行业生存并壮大的问题必须从产业中解决。