防氧化剂法除了优先碳源氧化生成金属氧化物和碳化物阻止含碳材料的氧化外,还可以通过固相反应生成液相等物质堵塞材料内部气孔提升材料的致密度阻止氧气的进入来提高防氧化效果,优化碳源法则通过复合碳源以及在碳源的表面添加涂层达到一定的防氧化效果.详细阐述了3种方法的工艺特点以及目前存在的问题,并对其发展方向进行了展望,为开发新型三氧化二铝-碳化硅-碳浇注料防氧化技术提供参考.高炉炼铁是钢铁工业普遍采用的炼铁工艺流程!
同时碳化硅衬底材料能量损失更小!在相同的电压和转换频率下,400V电压时,碳化硅MOSFET逆变器的能量损失约为硅基IGBT能量损失的29%-60%之间;800V时,碳化硅MOSFET逆变器的能量损失约为硅基IGBT能量损失的30%-50%之间!因此碳化硅器件的能量损失更小.当前外延主要以4英寸及6英寸为主,大尺寸碳化硅外延片占比逐年递增!碳化硅外延尺寸主要受制于碳化硅衬底尺寸,当前6英寸碳化硅衬底已经实现商用,因此碳化硅衬底外延也逐渐从4英寸向6英寸过渡.
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由于碳化硅硬度和蓝宝石比较接近,因此蓝宝石的粗抛设备以及SLurry配方略经改良,是可以用的,细抛就要上新设备了,但是这部分设备占整体成本并不不高,大体可控!碳化硅在半导体中存在的主要形式是作为衬底材料,基于其优良的特性,碳化硅衬底的使用极限性能优于硅衬底,可以满足高温、高压、高频、大功率等条件下的应用需求,当前碳化硅衬底已应用于射频器件及功率器件!碳化硅器件优点如下:耐高压!击穿电场强度大,是硅的10倍,用碳化硅制备器件可以大地提高耐压容量、工作频率和电流密度,并大大降低器件的导通损耗.
在相当长时间内,高炉炼铁仍将是炼铁工艺的选择.高炉出铁沟是铁水和炉渣熔化后的必要通道!高炉出铁沟浇注料是保障高炉出铁沟出铁安全、稳定、运行的基础,延长高炉出铁沟浇注料的使用寿命可以有效降低炼铁成本和提高生产效率!因此,它是炼铁工艺中的基础和关键耐火材料之一。由于出铁沟频繁受到高温铁水和熔渣的机械冲蚀和侵蚀,所以出铁沟浇注料必须具有优良的抗热冲击性和抗渣性!耐高温!半导体器件在较高的温度下,会产生载流子的本征激发现象,造成器件失效!
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由于物理气象传输(PVT)制备碳化硅衬底的BPD密度较高,外延层中对器件有害的BPD多来自于衬底中的BPD向外延层的贯穿。因此,提高衬底结晶质量可有效降低外延层BPD位错密度。随着碳化硅器件的不断应用,器件尺寸及通流能力不断增加,对结晶缺陷密度的要求也不断增加,在未来技术的进步下,碳化硅外延片结晶缺陷密度会随之不断下降!综述了三氧化二铝-碳化硅-碳浇注料防氧化技术的防氧化效果以及对材料性能、组成和结构的影响,根据含碳耐火材料的氧化损毁机理,主要分析了防氧化剂的两种作用形式即优先碳源氧化法和优化碳源法.
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