气体流量计

具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计并使之产品化的厂商。其核心部件一MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微流体的流量计量和测控，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。基于MEMS技术的流量芯片广泛应用于医疗呼吸设备，医院中心供氧、制氧设备、分床计费系统，工业制造业用气测量及过程控制，环保行业大气监测及分析，食品饮料加工，科学气体分析仪器，楼宇自控，民用健身与保健设备，汽车车载电子与汽车生产工艺控制，农林渔业养殖等领域；在全新的燃料电池等尖端科技领域亦有不可替代的应用。目前，产品已销售到美国、加拿大、日本、韩国、欧洲、南美、大洋洲、东南亚、中东等多个国家和地区。感器灵敏度高，有极小的始动流量传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高传感器的零点稳定度高?全量程高稳定性?全量程高精确度和优良的重复性?低功耗、低压损响应速度快??生产出从毫升级到立方级：全量程覆盖的产品线：10SCCM~万个立方气体的测量产品。气体质量流量传感器气体质量流量计气体质量流量控制器液体质量流量传感器压差传感器MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.

查看气体流量计全部详情 >>