◆高速度、高精度测量系统◆160mm×160mm范围自动测量◆重复测量精度≤0.5μm◆适用高反光、高透光材质◆数据重复测量的一致性◆测量膜厚、线宽、平面度等易泛特技术(深圳)有限公司成立于2016年,有多名行业专家领衔,致力于为行业客户提供业界的高分辩率、非接触式3D测量系统;Effecttek3D测量系统采用白光和红光等纳米级分辩率的光学器件,配合高精度X/Y/Z移动平台和强大的3D软件算法处理,帮助用户解决精密测量难题,包括:线宽膜厚测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等,对透明材质的多层测量也得心应手;
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