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60W CO2射频管冷却，可选用特域CW-5000冷水机；
80WCO2射频管冷却，可选用特域CW-5200冷水机；
100W CO2射频管冷却，可选用特域CW-5300冷水机；
120W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6000冷水机；
150W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6100冷水机；
200W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6200冷水机；
300W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6300冷水机；
60W CO2射频管冷却，可选用特域CW-5000冷水机；
80WCO2射频管冷却，可选用特域CW-5200冷水机；
100W CO2射频管冷却，可选用特域CW-5300冷水机；
120W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6000冷水机；
150W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6100冷水机；
200W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6200冷水机；
300W CO2射频管冷却，可选用特域CW-6300冷水机；
