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光学相干断层成像系统
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- 保质/修期：1
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- 更新日期：2022-03-20
产品说明
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1.1 传感器技术无论何种纳米测量技术都必须依靠传感器。目前进行纳米测量的传感器主要分为电感传感器、电容传感器、光干涉传感器三类。在高精度测量中，电感传感器应用最广。一般电感传感器有线性差动变压器（LVDT）和线性差动电感器（LVDI）两种形式，它们都是当铁磁线圈的位置变化引起磁场的变化，通过测量磁场变化达到测量位移的目的。电容位移传感器采用平行极板之间的电容变化来反映两极板距离变化，从而达到测微目的。电容传感器灵敏度很高，并可进行非接触测量，成为纳米测量中重要的传感器。光学位移传感器测量的基本原理都是迈克尔逊干涉仪。干涉条纹的宽度为0.5λ，约0.2μm。通过细分达到纳米分辨率。
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