皮米精度位移激光干涉仪（可试用）亚纳米级误差，jue对位移测量，非线性误差的you质解，纳米尺度测量的理想仪器.产品特点：多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用相对距离和jue对距离测量完善的全套系统配置实时输出数字化图像针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案长期使用保证稳定性兼容真空与各种恶劣环境du特优势：jue对距离高精度测量！不存在非线性及周期性误差!相对距离信号稳定性0。05nm！

　　此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。du特的法珀腔+饱和吸收气室构造波长的线性变化的引入在此构造下使得jue对距离的测量成为可能!干涉传感头激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计.quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头！

　　当F-P腔长在变化时，其谐振峰的频率也在发生变化，通过测量初始腔长，初始频率和频率变化，就可实现测量腔长。可调激光器的频率变化可通过与一个稳频激光器进行拍频来测量。因这种方式将位移变化转换为了频率变化，只要保证频率变化为线性变化，就可以避免干涉仪的非线性误差对测量结果的影响。同时其理论分辨率低可达到1pm!昊量光电新推出的皮米精度位移干涉仪quDISjue对距离测量方式就是基于上文中提到的“拍频”的方式，通过将内部参考腔锁频，使其频率和腔长保持恒定，这样，通过测量频率变化，就可以知道实时的腔长，也就是jue对距离。

　　工作距离大至5m（与传感头相关）目标速度＜3m/s三个传感接口，可实现多设备同步探测器分辨率达到1pm应用领域：极限环境下振动分析缓慢漂移及热膨胀检测精密设备位置控制纳米级位移测量层状结构中间隙和边缘的测量位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性0。05nm波长1535nm相对对距离精度0!2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离20-5000mm光纤输入端口FCNarrow-Key-Slot目标速度3m/sMatingSleeves传感头真空低温同步多台设备同步大量程、高精度的jue对距离测量方法主要分为两类：一类是相干测量，另一类是非相干测量。

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　　用于测量高温漂移物体的传感器头的设计镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头环境测试模块（AMU）环境测试模块（AMU）设计用于补偿由温度T、压力p和相对湿度rH波动引起的折射率变化，总体精度为1ppm。频率扫描jue对测距法：频率扫描jue对干涉测距技术是一种无需靶标或标记点、能够快速测量漫反射体表面信息并且测量精度很高的测距方式，因此得到了人们的广泛关注!德国qutools公司新推出的皮米级别位移干涉测量仪quDIS便是基于上述频率扫描原理的干涉仪.

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