03/0.05/0!07/0！1；重复精度（全行程）nm：0！06/0.1/0.14/0!2；本底噪声nm：0.003/0.005/0!007/0。01；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：高精度大通孔可用于倒置显微镜；型号：AU-CX；行程(μm)：100/200；分辨率(nm)：0!1/0.2；重复精度（全行程）nm：0！2/0。4；本底噪声nm：0。01/0.02；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：超高性价比型号：AU-LF1；行程(μm)：100/200/300；分辨率(nm)：0。

　　高精度压电马达夹爪：高精度微型夹爪。压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）高精度亚纳米压电平移台单轴压电平台Z轴压电平台型号：AU-Z-stage；行程(μm)：5/10/25/50；分辨率(nm)：0！005/0.01/0!025/0!05；重复精度（全行程）nm：0.01/0。02/0。05/0.1；本底噪声nm：0.0005/0.001/0！0025/0.005；传感器：硅传感器闭环反馈；型号：AU-C！

　　受到国内外高端工业领域和科研领域的一致好评。主要特点高分辨率：0！005nm/urad（Max）超大行程：1500um（Max）超低底噪：10-50pm超高速：谐振频率7000Hz（Max）高性能传感器：Si-HR传感器柔性铰链：高可靠、长寿命紧凑设计可用于真空环境主要应用超分辨显微原子力显微镜干涉测量精密光学自适应光学光束稳定/扫描光镊纳米刻蚀单轴压电平台单轴压电平台是可以在单个维度上提供jing确定位的产品，主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、快速反射镜!

　　精密定位平台|显微载物台压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）平移台是一种精密定位平台，可实现duo维定位和扫描，昊量光电可提供不同类型的平台，按照驱动方式包括以下产品：压电直推位移平台该平台是利用压电陶瓷的形变完成jing确的位移，通常该平台分辨率可达亚纳米级，行程范围在几百微米，使用行程放大杠杆，zui大行程可达1500μm!可提供一维；二维；和三维的平台，还可以提供快反镜!

高精度亚纳米压电平移台-

　　1/0！2/0！3；重复精度（全行程）nm：0！2/0。4/0!6；本底噪声nm：0.01/0。02/0！03；传感器：硅传感器闭环反馈；型号：LT-Z；行程(μm)：100/200/300/500；分辨率(nm)：0。1/0.2/0。3/0！5；重复精度（全行程）nm：0!2/0!4/0!6/0；本底噪声nm：0。01/0.02/0。03/0!05；传感器：硅传感器闭环反馈；物镜扫描台一维快反镜两轴压电平台两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转，主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜XY压电平台二维快反镜三轴压电平台压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）高精度亚纳米压电平移台法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动，采用柔性铰链连接，选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR传感器，具有更高的稳定性和闭环精度。

　　X轴压电平台可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品型号：AU-HS1；行程(μm)：10/30/50/70/100；分辨率(nm)：0.01/0！03/0！05/0。07/0!1；重复精度（全行程）nm：0！02/0。06/0.1/0！14/0！2；本底噪声nm：0。001/0。003/0！005/0.007/0.01；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：超高速，高精度；型号：AU-HS1H；行程(μm)：30/50/70/100；分辨率(nm)：0.

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　　压电马达位移平台可提供粘滑式和超声波压电马达平台，该平台可提供纳米级分辨率和zui高行程达5米!可用于真空、非磁、低温等环境。电动位移平台由步进电机或直线电机驱动的平台，可提供亚微米分辨率及5米大行程。可提供线性平台、升降台、转台等此外还提供气浮转台/线性平移台、微型平移台、六维平台等特殊平台。压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）:科研级高精度超低噪压电亚纳米平移台!高负载电动线性/二维位移台-高精度纳米级:高负载电动线性/二维位移台-高精度纳米级。