必要的压差是控制漏气方向的手段!微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄露.病毒实验室或传染病房不允许室内空气向室外泄露。噪声过大的噪声不仅会影响正常的工作，而且会影响人员的身体健康，降低噪声是洁净度的一项基本要求！照度适当的照度是正常工作的必要条件.特殊参数振动振动会影响仪器设备的稳定性，从而影响仪器的准确度，还会影响设备的加工度，所以有些洁净室需要控制振动!静电静电有许多危害，特别容易损坏微电子元件，所以微电子行业采取相应的防护措施，预防静电的产生或者使产生的静电能够及时泄漏，以减少静电对电子行业所造成的损失!

　　逐步升高电压，至笔直层流风速达0!35m/s以上即得。结束后，应先将电压调旋纽调回ldquo;零rdquo;位，再关掉电源开关!层流罩的面罩应每周拆下用注射用水清洁一次，后用35%酒精擦洗。当送风风量及风压不能使风速0.2m/s时，应替换过滤器.替换过滤器时，翻开层流罩面罩板，拧松固定螺检后进行替换，并压紧固定，重新装上面罩板.洁净室的送风方案有哪些：空气的初效和中效过滤器及热湿处理设备（风机、加热、加湿冷却设备）集中设置在一个空调机房内，用管道与布置在室内风口处的过滤器相连所组成的系统，称为集中式净化空调系统!

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　　并联的集中式系统当一空调机房内布置多个集中式净化空调系统时，可将几个系统并联，只设一个新风热湿处理系统.这样做可以减轻每个集中式净化处理室空调系统的冷负荷与热负荷，而且运行比较灵活.层流罩特点：可单独使用，也可多个组合成带状洁净区域!产品主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成.外壳采用彩钢板、钢板喷塑或不锈钢制作.样式分别有悬挂式、落地式和移动式（层流车）三种样式.洁净层流车可灵活地用于净化车间的物品流动，规格分别有线电源和无线电源（UPS电源供电）控制两种，无线控制采用蓄电池逆变电源，蓄电池充足电源后，可连续工作6-8个小时。

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　　层流罩采用可调风量低噪音风机组。在调节风机工况后，可使洁净工作区的风速始终保持在理想的范围内，箱体出风面处装有照明灯，前侧装有按钮式控制装置，操作方便!洁净层流罩与洁净室相比，具有投资省、见效快、对厂房土建要求低、安装方便、省电等！可根据客户需求，制作不同规格的非标产品。如何对洁净车间洁净度进行检测：检测仪器的选用对净化车间内的洁净度的测量，可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但目前用得较多的是光散射粒子计数器。

　　5-0m.水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内；非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点！关于等动力采样的问题所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同！因为对净化工程的检测主要关心两种粒径，即0！5um和5um!非等动力采样对于le;0！5um的粒子影响不大!如果取样空气用于计算大于或等于0!

　　3L，对于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0!1L.对于100级净化车间，宜采用大流量粒子计数器进行测试.如果不具备，也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。在对净化车间进行洁净度检测时，尽管规定了空气的zui小采样量，但在实际工作中，应在保证zui小采样量前提条件下，根据已有的检测设备，尽量采用大流量的尘埃粒子计数器.检测点的布置根据中华人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪00m的水平面内；对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0。

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