03/0!05/0.07/0！1；重复精度（全行程）nm：0。06/0！1/0.14/0!2；本底噪声nm：0!003/0!005/0.007/0.01；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：高精度大通孔可用于倒置显微镜；型号：AU-CX；行程(μm)：100/200；分辨率(nm)：0。1/0！2；重复精度（全行程）nm：0!2/0！4；本底噪声nm：0!01/0！02；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：超高性价比型号：AU-LF1；行程(μm)：100/200/300；分辨率(nm)：0！

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