1/0。2/0.3；重复精度（全行程）nm：0.2/0.4/0！6；本底噪声nm：0.01/0。02/0。03；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：大通孔可用于生物样品扫描；型号：AU-SLR；行程(μm)：300/500/800/1500；分辨率(nm)：0.3/0!5/0！8/5；重复精度（全行程）nm：0。6/1/6/3；本底噪声nm：0。03/0.05/0!08；传感器：硅传感器闭环反馈；产品特点：超大行程；！

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